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環境Q&A

半導体に含まれるヒ素 

登録日: 2004年01月12日 最終回答日:2004年01月15日 健康・化学物質 その他(健康・化学物質)

No.4584 2004-01-12 11:13:06 ギャモン

半導体にはガリウムヒ素等、化合物としてヒ素が含まれているものが多く有ります。
ISO14001の環境側面として評価をどの様にしたら良いのかどなたか、ご存じの方お教えください。

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No.4605 【A-1】

Re:半導体に含まれるヒ素

2004-01-13 09:47:26 神奈川県 / 法律は難しい

 ギャモンさんは、半導体を製造しているのですか?それとも半導体を使用しているのですか?それとも半導体を処分しているのですか?
 

No.4611 【A-2】

Re:半導体に含まれるヒ素

2004-01-13 12:53:41 ギャモン

使用者です。(電機機器のメーカ)

No.4619 【A-3】

Re:半導体に含まれるヒ素

2004-01-13 15:36:33 神奈川県 / 法律は難しい

 私から質問しておいてなんですが、ご存知の通り、ISO14001の環境影響評価の方法は企業が決めることになっています。
 なので、自社に合う方法で評価方法を決定し、それに例えば「半導体の使用」という環境側面を当てはめた場合に、著しい環境側面になるか否かを決定すれば良いだけのことです。その評価方法が判れば助言し易いのですが・・・。
 
 と言ってしまうとあまりにも無責任なので、ちょっと補足説明を。
 「現在環境影響を与えているか、もしくは与える可能性があるか(緊急時等)」と「与えている影響の規模、もしくは与えてしまった場合の影響の規模(緊急時等)」をそれぞれ点数付けして、掛け合わせるなどの計算をして「著しい環境側面」を決定している企業が多いかと思います。

 この場合、例えば「半導体中のヒ素は、内部が露出した場合には与える影響の規模(度合い)は大きいが、まず内部が露出することは無い。」といった場合には、必然的に点数が低くなります。
 また、「半導体を触るだけで実はヒ素を体内に吸収しているが、与えている影響の規模(度合い)は低い」という場合も点数が低くなります。
 これが「半導体中のヒ素は、内部が露出してしまったら与える影響の規模(度合い)はそこそこあり、また実際露出している(あるいは露出する可能性がある)」などの場合では、評価方法に当てはめてみると、場合によっては「著しい環境側面」になるかもしれません。
 これは、活動(電気機器の製作)の環境影響だけでなく、製品としてユーザー先での使用中の環境影響も評価しなければなりません。

 著しい環境側面になった場合には、優先的になんらかの手を打たなければなりませんが、例えばヒ素を使用していない半導体(あるのかな?)の使用率を上げていったり、ユーザーで勝手に中をいじくることが出来ない構造にするなど、著しい環境側面から外れるようにするための対策を、目的目標に掲げて取り組むことになります。
 
 長々と書いてしまいましたが、文書で説明するのはとても難しいですね。

回答に対するお礼・補足

法律は難しいさん有り難うございます。
Siに不純物として、極めた微量のヒ素をドープしていると解釈するしかないのですかね。
メーカに問い合わせてみます。

No.4661 【A-4】

Re:半導体に含まれるヒ素

2004-01-15 20:23:13 tamagobuta

こんにちは。半導体メーカーの環境調査担当をしております。

とりあえず、うちの製品はシリコンウェハを用いていますので、砒素の含有はドーパントとしてせいぜい1ppm程度です。(また、全製品に含有しているとは限りません。)
更に、樹脂でモールドしたり、何らかの保護をしてチップを裸で用いる事はないと思います。第一砒素がドーピングされている部分は内部の方で表面には少なくとも酸化膜などの保護膜の形成はなされていると思います。その為、シリコンウェハのチップであれば少なくとも砒素の含有部分に触れることはないでしょう。
実際、チップのドーパントなどの微量成分に関しては開示しない動きもありますので、ドーパントの砒素であれば、環境側面への反映はほとんど考えなくていいと思います。

また、メーカーによってはガリ砒素のウェハを使用しているとも思いますが、通常の使用においてはチップを素手で取り扱う事はないと思います。
まぁ、購入形態が実装品なのかWFやチップ購入なのかにもよって、緊急事態としてどのようなケースを想定するかだと思います。

環境側面についてあまり詳しくないのですが評価基準としては、その行為により何らかの環境影響を与えるもの“環境に何らかの変化を与えるもの”と考えると思います。
そう考えた時に、製造時に砒素を用いているのであればinに化学物質があり(資源の枯渇とか?)Outに排気・廃液などの廃棄物等と製品(含有するのであれば)が来ますよね?それで、廃出関係はとても大きな環境影響を及ぼすと思いますが、製品としての出荷は購入者にゆだねてしまうという考えではいけないのでしょうか?

そうして、購入者のinに製品が来て、その廃棄処分時に砒素が含有する事での環境影響が発生する、という事ではないのでしょうか?

そう考えると、考えるのは事故時等にガリ砒素基板のチップに直接接触するであるとか(直接接触で有害なのかもよく知りませんが)、環境中にばら撒かれるとか・・・?(そうなると、運送中の事故とかになるのでしょうか??)

結論として、どちらかというと砒素に注目して考えるより、その会社毎の環境側面の捉え方の問題になるかと思います。
長々と分かりにくくなってしまいましたが、私のような考え方は甘いんでしょうか?どなたか環境側面調査にお詳しい方がいらしたら補足・修正願います。

回答に対するお礼・補足

tamagobutaさん有り難うございます。
 1PPMですか。はんだに含まれる鉛と比べ環境負荷小さいのでしょうかね。
 昨年の夏、トランスの絶縁油に微量のPCBが混入している事が判明しました。欧州では、50ppmだったか25ppm以下だったか定かではありませんが、問題無いとの指標が出ているらしいのですが、日本では指標が出ていないため各製造会社調査が大変なようです。

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