環境Q&A

No.28237 【A-1】

Re:単結晶ｼﾘｺﾝ生産工程に係る汚泥処理

2008-06-05 10:20:30 sludgedewater （ZWl32f

>　単結晶シリコンより製造される、半導体やシリコンウエハなどの製造過程で発生する各工程（研磨や切断、ポリッシング、グラインドなど）のシリコン汚泥に於いて、有用な回収方法（メッシュが0.1−5μと細かく、水の中にある）と、その有効利用（多くはセメント原料として有効利用している）を考えています。
>　切り口の違う有効方法や、または低コスト運用の現状を教えて下さい。
>

発生スラリを濾過して、ろ液は、工程ないへ循環し、ケークは、シリコン単結晶の製造メーカに引き取っていただき再利用される。
経験上、粒が小さいので、濾過は難ろ過性ですので、固液分離としては、加圧濾過圧搾式フィルタプレスが適切です。メーカは、ネットで、キーワードに、フィルタープレス、脱水機、filter　press等でサーチすると多くのメーカがヒットします。そのなかから、適当に二三社を選びろ過試験の依頼をされることをおすすめします。サンプル量としては、通常スラリの固体濃度によって一種類に付、1％程度のもので18リットルは必要でしょう。
以上　ご参考にまで。