ガスの排出基準値

No.12022 2005-08-19 03:28:15 エコ次郎

仕事で外国の装置を東京都内に設置する為に以下のガスの排出基準値を調べているのですが調べ方が悪い様で、定量的な規定値を見付けられません。
つきましては参考になるURLをお教え頂けますでしょうか。

調査しているガス
- SF6
- O2
- Ar
- N2
- SiF4
- HF
- F2
- SOF2
- SO2F2
- SO2
- SO3
- O3

No.12025 【A-1】

Re:ガスの排出基準値

2005-08-19 21:17:30 ご近所 （

>仕事で外国の装置を東京都内に設置する為に以下のガスの排出基準値を
>調べているのですが調べ方が悪い様で、定量的な規定値を見付けられま
>せん。
　どのような装置か書いていただけると、回答が返ってくると思います。
　装置や使用目的・方法によって適用法令が変わると思われるので、現状では回答のしようがありません。

回答に対するお礼･補足

ご近近所様、ご助言ありがとうございました。
以下の通りに質問を改訂致します。如何でしょうか？
-------------------------------------------------
仕事で外国製の”半導体をエッチングする装置”を東京都内に設置する為に以下のガスの排出基準値を調べているのですが調べ方が悪い様で、定量的な規定値を見付けられません。
つきましては参考になるURLをお教え頂けますでしょうか。

調査しているガス
- SF6
- O2
- Ar
- N2
- SiF4
- HF
- F2
- SOF2
- SO2F2
- SO2
- SO3
- O3

No.12061 【A-2】

Re:ガスの排出基準値

2005-08-23 21:28:17 JK （

東京都に聞くのが一番かとは思いますが、
条例や労働法規、個々のガスや容器に関する規制等は別とすれば、

http://www.env.go.jp/air/osen/law/index.html
大気汚染防止法の概要
http://www.env.go.jp/air/osen/law/t-kisei1.html
工場及び事業場から排出される大気汚染物質に対する規制方式とその概要

でおおよそは分かると思います。

回答に対するお礼･補足

JK 様、ご助言どうもありがとうございました。参考になりました。