一般財団法人環境イノベーション情報機構
「スパッタ・真空蒸着」技術とトラブル対策 セミナー
【 よくわかる「スパッタ・真空蒸着」技術とトラブル対策
－成膜プロセスから応力・密着力／剥離について－ 】
・2013年10月18日（金）
・ペルノックス株式会社（荒川化学工業株式会社） 岩村栄治 先生
・詳細 http://www.johokiko.co.jp/seminar_chemical/AC131061.php
＜プログラム＞
【 Ｉ．成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい 】
１．成膜プロセスの概略
２．スパッタと真空蒸着のちがい
３．最近の真空蒸着の新展開： 有機薄膜やALDなど
４．装置と真空の基本： 真空を作るところからリーク対策まで
５．成膜パラメータの制御とプロセスの最適化の考え方
６．薄膜の初期構造や微視的組織が形成される過程
【 II．膜の均一性・均質性を制御したい 】
１．成膜環境と粒子輸送の基本
２．プラズマとは： 制御パラメータと評価方法
３．プラズマ特性・分布と膜質への影響
４．反応性成膜のメカニズム
【 III．膜欠陥を減らしたい 】
１．薄膜に発生する欠陥
２．ゴミ・パーティクル・コンタミ対策
３．段差被覆性の改善
４．イオン・高エネルギー照射現象の詳細と膜質改善
【 IV．膜応力を低減したい 】
１．膜応力とは
２．応力発生メカニズム： 材料起因＆成膜プロセス起因
３．多層膜やパターニングされた薄膜の応力
４．膜応力低減の各種手法とその考え方
５．膜応力の評価手法のポイント： X線回折法・ラマン分光法・基板曲率法
【 Ⅴ．密着力を良くしたい 】
１．薄膜の密着力とは
２．密着力の評価方法のポイント： テープテスト・ピールテスト・3（４）点曲げ試験・スクラッチ試験
３．現場的評価手法と定量的評価手法の比較
４．なぜ密着力測定でOKでも実際に使用すると剥離するのか？
５．密着性改善の考え方と具体的な対策方法
【 VI．まとめ 】
【 VII．質疑応答 】
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http://www.johokiko.co.jp/seminar_chemical/AC131061.php
【登録日】2013.08.13