一般財団法人環境イノベーション情報機構
作成日 | 2023.09.01 更新日 | 2023.11.20
三フッ化窒素
サンフッカチッソ 【英】Nitrogen Trifluoride [略]NF3
解説
常温常圧では無色、無臭の気体。有害で、助燃性がある。
二酸化炭素、メタン、クロロフルオロカーボン(CFC)などとともに温室効果ガスの一つである。温室効果の強さは二酸化炭素を1とすると、三フッ化窒素では約17,200倍である。
アンモニアとフッ素ガスの反応等により合成され、半導体の製造プロセスで使用される。2021年度の日本の三フッ化窒素排出量は約40万トン(CO2換算)であり、2013年度と比べ120万トン減少した。
地球温暖化対策計画では2030年度の排出量目標を50万トン(2013年度比70%減)としているが、2021年度の排出量は前年度に比べ約13%増加しており、引き続き注意が必要である。(2023年8月作成)
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関連Webサイト
- 温室効果ガスの特徴(全国地球温暖化防止活動推進センター):https://www.jccca.org/download/13266
- 環境省化学物質情報検索支援システム「三フッ化水素」:https://www.chemicoco.env.go.jp/detail.php?chem_id=2904&lw=25